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辨向原理
在實(shi)際應用中,位移(yi)具有兩(liang)個(ge)(ge)方向(xiang),即選定一個(ge)(ge)方向(xiang)后(hou),位移(yi)有正(zheng)負之分,因此用一個(ge)(ge)光電(dian)元(yuan)件測(ce)定莫爾條(tiao)紋(wen)信號(hao)確定不了位移(yi)方向(xiang)。為了辨(bian)向(xiang),需要有π/2相(xiang)位差的兩(liang)個(ge)(ge)莫爾條(tiao)紋(wen)信號(hao)。如(ru)圖2,在相(xiang)距1/4條(tiao)紋(wen)間距的位置(zhi)上安放兩(liang)個(ge)(ge)光電(dian)元(yuan)件,得到兩(liang)個(ge)(ge)相(xiang)位差π/2的電(dian)信號(hao)u01和u02,經過整形后(hou)得到兩(liang)個(ge)(ge)方波信號(hao)u01’和u02’。光柵正(zheng)向(xiang)移(yi)動(dong)時u01超(chao)前u0290度,反向(xiang)移(yi)動(dong)時u02超(chao)前u0190度,故(gu)通過電(dian)路辨(bian)相(xiang)可(ke)確定光柵運動(dong)方向(xiang)。
細分(fen)技(ji)術
隨著對測量精度要(yao)求的(de)提高,以柵距(ju)為單位已不能滿足要(yao)求,需要(yao)采取適當的(de)措施對莫(mo)爾(er)條紋(wen)進行細分(fen)(fen)。所謂(wei)細分(fen)(fen)就是在莫(mo)爾(er)條紋(wen)信(xin)號(hao)變化一(yi)個(ge)(ge)(ge)周期內,發出(chu)若(ruo)干個(ge)(ge)(ge)脈沖,以減少脈沖當量。如一(yi)個(ge)(ge)(ge)周期內發出(chu)n個(ge)(ge)(ge)脈沖,則可使(shi)測量精度提高n備,而每個(ge)(ge)(ge)脈沖相當于原(yuan)來柵距(ju)的(de)1/n。由于細分(fen)(fen)后計數脈沖頻率提高了n倍,因此也稱n倍頻。
通(tong)常用的(de)有兩種細(xi)分(fen)方法:其一(yi)、直(zhi)接細(xi)分(fen)。在相差1/4莫(mo)爾(er)條紋間距(ju)的(de)位置(zhi)上(shang)安放兩個光電(dian)元(yuan)件,可得到兩個相位差90o的(de)電(dian)信號(hao)(hao)(hao),用反相器反相后就得到四(si)(si)個依次(ci)相差90o的(de)交流信號(hao)(hao)(hao)。同樣,在兩莫(mo)爾(er)條紋間放置(zhi)四(si)(si)個依次(ci)相距(ju)1/4條紋間距(ju)的(de)光電(dian)元(yuan)件,也(ye)可獲得四(si)(si)個相位差90o的(de)交流信號(hao)(hao)(hao),實現四(si)(si)倍頻細(xi)分(fen)。其二、電(dian)路細(xi)分(fen)。